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378 시리즈 - 반도체 검사용 현미경
378 시리즈 - 반도체 검사용 현미경 FS-70의 광학 시스템은 잘 팔리는 FS60형(후승은 FS70형)을 위해 개발되었다.378 시리즈 - 반도체 검사용 현미경 반도체 부품을 측정하는 현미경으로 이상적입니다.
제품 상세 정보

378系列--半导体检测用显微镜FS-70的特点
1.此光学系统最初是为畅销的FS60型(后升为FS70型)而开发的。
它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。
2.FS70L支持3种YAG激光波(1064nm,532nm,355nm),FS70L4支持2种波长(532nm,266nm),可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的使用范围。然而,使用三丰量具对显微镜的激光穖的性能和安全性,三丰公司不负责任。我们推荐在选购激光发射器时应仔细检查。
3.FS70Z的标准功能有:亮视场,微分干涉对比(DIC)和偏振观测。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。
5.极易操作的设计:FS70采用正像光学系统(视场中的像与样品方向相同)并用橡胶把手加大微调手轮。

378系列--半导体检测用显微镜FS-70的性能参数

型号

FS-70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70L-TH

FS70L4

JS70L4-TH

货号

378-184-1

378-184-3

378-185-1

378-185-3

378-186-1

378-186-3

378-187-1

378-187-3

短基座型号

FS70-S

FS70-THS

FS70Z-S

FS70Z-THS

FS70L-S

FS70L-THS

FS70L4-S

FS70L4-THS

货号

378-184-2

378-184-4

378-185-2

378-185-4

378-186-2

378-186-4

378-187-2

378-187-4

对焦

50mm行程,同心焦距粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)手轮(左、右0)

图像

正像

瞳距

Siedentopf型、调节范围

视场数

24

俯角

0°至20°

0°至20°

0°至20°

0°至20°

透过率

50/50

100/0或0/100

50/50

100/0或0/100

100/0或0/100

100/0或0/100

100/0或0/100

100/0或0/100

管镜头

内置激光射线滤光片

适用激光

2×zoom

适用激光

1064/532/355mm

532/355mm

相机端口

C-mount(使用适配器B选件)

使用带有电视端口的激光片

C-mount插座(带有绿色滤光片转换开关)

照明系统、可选

亮视场反射照明(科勒照明、带光圈) 12V 100W光纤、无极亮度调节、光导长度:1.5m、功耗150W

物镜、可选

M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo

物镜、可选

M/LCD Plan NIR

M/L CD Plan NUV

M Plan UV

M Plan UV

载重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

重量(主机)

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg


378系列--半导体检测用显微镜FS-70的技术参数
对焦
方法:有同心粗调和微调手轮(左和右)
范围:50mm测量范围,微调0.1mm/rev同心粗调3.8mm/rev
三目镜筒图像:正像
瞳距:Siedentopf型
调节范围:51-76mm
视场数:24
俯角:0°-20°(仅用于-TH,THS型号)
照明系统:亮视场反射照明(科勒照明、带光圈)
光源:12V100W光纤、无极亮度调节 ),光导长度1.5m、功耗150W
物镜(选件):M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

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