액티브 방진 플랫폼 개요

STACIS® III는 유연하고 능동적인 방진 시스템이다.STACIS 액티브 진동 차단 플랫폼 시스템은 첨단 관성 진동 센서, 첨단 제어 알고리즘 및 압전 드라이버를 사용하여 연속적으로 바닥 활동을 측정한 다음 압전 드라이버를 확장 및 축소하여 바닥 움직임을 필터링하여 실시간으로 진동을 제거합니다.

STACIS**는 첨단 반도체 공장에서 정밀 마이크로 포토레지스트, 계량 및 감지 장비를 격리하기 위해 처음 설계되었으며, 지금은 반도체 공장, 실효 분석 실험실, 나노 기술 연구, 나노 제조 시설 및 재료 연구 센터를 포함하되 이에 국한되지 않는 시끄러운 환경의 산업 표준 솔루션이 되었습니다.

STACIS III 액티브 방진 플랫폼 시스템에는 새롭게 향상된 디지털 컨트롤러 DC-2020이 포함되어 있습니다.이 새로운 ** 제어 시스템은 전면 및 후면 패널에 새로운 듀얼 코어 프로세서, 이더넷 및 USB 직렬 포트를 사용하여 현대적이고 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)를 제공합니다.전 세계적으로 수백 건의 성공적인 설치 사례가 있는 STACIS는 진동 **에 민감한 기기에 이상적인 방진 시스템입니다.

액티브 방진 플랫폼 시스템 STACIS III의 이점

STACIS는 공기 방진기보다 수백 배 단단해 공기 방진 시스템의 한계가 전혀 없다."소프트" 서스펜션이 없으며 활성 공기 시스템과 달리 STACIS는 내부 활성 공기 방진 시스템이 있는 도구 아래에 배치되어 두 시스템 모두 ** 상태에서 작동할 수 있습니다.

0.6Hz * * * * 150Hz의 넓은 활성 대역폭과 2Hz부터 90% 의 진동을 감소시키는 ** 활성 방진 성능을 제공하는 고유한 직렬 설계 및 독점적인 고전력 압전 기술.

액티브 방진 플랫폼 시스템 STACIS III 특징

▪ **사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스를 제공하는 새로운 개선된 DC-2020 디지털 컨트롤러

▪ 방진개는 0.6헤르츠에서 시작하여 1Hz에서 40% * * * 70% 의 격리율에 도달한다

▪ 주파수 2Hz 이상에서 수직 및 수평 공명률 90% 이상

▪ 인프라 요구 사항 및 건설 비용 절감, 외부 진동 장치가 큰 경우에도 가동 가능

▪ 유효 방진 범위(0.6Hz ~ 150Hz)

▪ 많은 사용자의 폭넓은 인정과 인정을 받다

▪ 6방향 자유도 하드 마운트 설계, 공기 서스펜션 불필요

▪ 정기적인 재조정이 필요 없는 강력한 제어 시스템

▪ point-of-use 설계, 고객의 기존 방진 시스템과 원활한 호환

▪ 외부 환경의 변화에 따라 시스템이 다양한 외부 충격 상황에 맞게 자동으로 조정됨

▪ TMC의 STACIS.®기술 사용 압전 집행기 능동 소진

▪ 디지털 컨트롤러 및 PC 기반 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)

▪ 고객의 제품 생산량, 품질, 완제품률을 높이다.

▪ RoHS 준수

▪ **넓은 활성 방진 대역폭, **의 저주파 방진 효과

▪ Ahz의 능동 진동 제거, ** 주로 0.6-6Hz 대역에서 진동 차단

▪ 계층형 설계

▪ 소프트 플로팅이 아닌 액티브 하드 장착 구조, 저주파 플로팅 없음, 액티브 컴포넌트와 강성 스프링 연결

▪ 패시브 스프링은 STACIS 센서의 부하 공명을 필터링하여 튜닝이 거의 필요하지 않으며 * * * 튜닝이 필요하지 않습니다.

▪ 임피던스 불일치로 인해 기기 내부 분리기 호환 가능

▪ 최대 2000kg의 로드

▪ 시장 * * 의 사전 예방 방진 시스템

액티브 방진 플랫폼 성능

VC-C(초당 500μ인치, 초당 12.5μm/s RMS)의 아날로그 진동을 사용하여 2045kg(4500파운드) 페이로드를 테스트합니다.

액티브 방진 플랫폼 사양

성능 사양

STACIS 사용자 및 애플리케이션

1. 마이크로전자, 반도체

▪ 웨이퍼 검사

▪ 현미경 광각 기술

▪ 마스크 조정

2. 과학 연구, 나노 기술

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. 레이저 스탠드

▪ 생명 과학, 약물 개발

4. 공업 응용

▪ 정밀가공

왜 능동 방진 시스템을 선택해야 합니까?

▪ <1Hz부터 지면의 진동을 강하게 제거하기 시작하는데, 공기압 플랫폼은 이 저주파에서 효과적인 방진을 할 수 없다

▪ 품질과 생산량을 높이다

▪ 더욱 세분화된 이미지 처리 능력

▪ 최첨단 연구

▪ 에어 플랫폼보다 안정적이에요

▪ SEM 표준 사이트 설치 매개 변수를 충족하는 ** 솔루션

▪ 새로운 실험실 및 연구 설비의 공정비를 더욱 낮추다

액티브 방진 시스템이 STACIS를 선택하는 이유

▪ 과학 연구자들의 의견에 부응하여 가능한 한 * * 의 무진장 환경을 제공하였다.

▪ 시장 * * 강력한 저주파 방진 시스템.

▪ 현재 모든 SEM 제조업체는 설치 매개변수 요구 사항을 발표했으며, 필요한 진동 매개변수는 능동 방진 시스템이 충족되어야 합니다.

▪ 1990s에서 발명된 STACIS**는 TMC의 발전을 통해 수천 개의 능동 방진 시스템을 개발하고 설치했으며 이는 능동 방진 제어 분야에서 제공하는 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.

STACIS는 공기압 분리기에 비해 수백 배 더 강력합니다.

안정 시간은 교란에 대한 응답으로서 독특한 직렬식 설계로 인해 크게 단축되어 기계 제조, 동적 부하, 레이저 또는 광원이 설치해야 하는 독립적인 강성 테이블의 경우 이상적으로 응용된다.

업계에서 다음과 같은 이점을 얻을 수 있습니다. * *

▪ STACIS의 활성 진동 차단 대역폭은 0.6Hz-150Hz입니다.

▪ 6개의 자유도의 능동 진동 제거, 1Hz에서 8~10dB 만에 진동

▪ 2-3Hz에서 최대 90%의 진동 차단(20dB)

전문적인 환경 조사

1. 설치 전후의 환경 조사(진동, 자기장, 음파 포함)

2. 설치 후 환경 시스템 시스템 인증 제공

▪ 완벽한 환경 조사 서비스

▪ 전문 환경 보고서 작성

▪ 진동, 자기장, 음파 감지 및 솔루션 제공

▪ TMC는 광범위한 경험을 바탕으로 실용적인 시나리오를 사용자에게 권장합니다.

▪ 40년 이상의 업계 경험, 업계 * *

사진 적용