전감 결합 플라즈마 질량 스펙트럼인 ICP-MS는 주기율표의 거의 모든 요소를 빠르고 동시에 감지할 수 있는 새로운 무기 원소와 동위원소 분석 기술이다.ICP-MS 기술은 분석 능력에서 전감 결합 플라즈마 스펙트럼 기술 (ICPAES), 흑연로 원자 흡수 (GFAAS), 수은 냉원자 흡수 기술 (CVAAS) 과 같은 전통적인 무기 분석 기술을 합친 것을 넘어 현대 분석 기술의 가장 흥미로운 발전으로 불린다.

Agilent ICP-MS 기술의 적용 분야는 다음과 같습니다.
● 수돗물, 지표수, 지하수, 바닷물 및 각종 토양, 폐기물 등의 분석을 포함한 환경 시료 분석;
● 반도체 소재 분석
● 유리, 도자기, 광야 등 샘플 분석;
● 지질학 연구;
● 바이오식품 및 의약 임상연구;
● 핵재료 분석
● 석유화학공업 샘플 분석;
● 법의학 응용 및 연구;
● 최근 분리기술과 연계하여 환경독리, 생명과학 등 분야의 원소가격태, 형태분석을 진행하는 것이 ICP-MS 기술 응용의 한 초점이 되었다.
ICP-MS 분석 기능:
● 주기율표의 거의 모든 요소를 빠르고 동시에 감지
● 최소 체크 아웃 제한 (낮은 ppq 수준)
● 최상의 분석 효과/비용
● 가장 넓은 선형 동적 범위 - ppq에서 수백 ppm 농도까지 직접 감지
● 스펙트럼 선이 가장 간단하고 간섭이 가장 적으며 정확도와 정밀도가 좋다
● 필요한 시료량은 매우 낮음(ul~ml), 분석 속도는 매우 빠름(1~3분/시료)
● 다양한 감지 모드
반도체 산업 상용 재료 중 초흔적 오염물 분석:
고체: Si; GaAa 단결정 슬라이스;석영, 탄화규소 등 용광로 재료;고순도 금속 전극 등
액체: 초순수;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;암모니아수 등
가스: SiH4;TE0S;NF3;N2 등급
Agilent ICP-MS는 유기농 샘플을 직접 분석합니다.
Agilent ICP-MS의 고효율, 고출력 차폐 모멘트 콜드 플라즈마 기술은 일련의 유기 샘플의 ppt급 흔적 오염 요소를 측정하는 데 사용되었습니다.
● 그 중 일부 샘플에 대해 다른 방법으로는 만족스러운 결과를 얻을 수 없으며, 고출력 차폐 모멘트 콜드 플라즈마 기술이 유일한 분석 방법이다.
● 강한 알칼리성 세척제인 테트라메틸 수산화암모니아(TMAH) 등
● 상용 유기용제인 톨루엔, 디메틸벤젠, IPA 등
● 고기체 시료인 포토레지스트, 액정, BPSG, PSG 등 휘발성이 매우 강한 세척제인 아세톤, 메탄올 등.