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제품 상세 정보
- 제품 설명
4불화탄소 분석 헬륨 이온 크로마토그래프고감도 헬륨 이온화 검측기를 장착하고, 화아이회사의 센터 절단 기술을 채용하며, 샘플링 밸브는 모두 청소 보호 가스로를 가지고 있다;전체 기계는 다중 기둥 상자로 설계되었으며, 샘플링 압력 자동 교정 시스템을 갖추어 서로 다른 저력의 샘플의 샘플링 양을 보장한다.제품은 선후로 상해시 첨단기술성과전환 A급 프로젝트를 수상하였다.
| 프로젝트 | 지표 | ||
| 4불화탄소(CF4) 순도 (체적 분수) / 10-2≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| 질소(N2) 함량 (체적분수) / 10-6＜ | 4 | 20 | 40 |
| 산소+아르곤 (O2+Ar) 함량(체적분수)/10-6＜ | 1 | 5 | 10 |
| 이산화탄소(CO2) 함량 (체적분수) / 10-6＜ | 1 | 5 | 10 |
| 일산화탄소(CO) 함량(체적분수)/10-6＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
| 육불화황(SF)6) 함량 (체적분수) / 10-6＜ | 1 | 1 | 5 |
| 수분(H2O) 함량(체적분수)/함량, 10-6＜ | 3 | 5 | 10 |
| 산도(HF) 함량(체적분수)/10-6＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| 기타 할로겐 탄화수소a함량(체적분수)/10-6＜ | 1 | 10 | 30 |
| 총 불순물 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
| 과립 | 공급과 수요 쌍방이 협의하여 결정하다. | 공급과 수요 쌍방이 협의하여 결정하다. | 공급과 수요 쌍방이 협의하여 결정하다. |
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기타 할로겐 탄화물에는 육불화 에탄, 팔불화 프로판 등이 포함된다.
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