저온 촉매 - 고온 질소 제거형 순화 시스템

이 순화 시스템은 자체 제작 특허 촉매를 사용하는데, 이 촉매는 사용 수명이 길고 순화 깊이가 높으며 항원재료 가스의 순간 파동 능력이 강하다;물리흡착과 화학반응공법을 채용하여 먼저 실온에서 타성기체와 수소 (H2) 중의 대량의 불순물 H2O, O2, CO, CO2를 제거한후 다시 고온흡기탑을 통해 잔여불순물 및 N2를 제거하여 수출순기불순물을 1ppb 이하로 제거한다.이 설비는 사용 수명이 길고 조작이 간단하다는 특징을 가지고 있다.

제품 성능

◎ 순도 99.999% 이상의 원기와 함께 사용하기에 적합하다.

◎ 이 제품은 이중 구조, 작업 세트, 재생성 대체 세트

◎ 순화 깊이가 높고 각종 불순물 함량을 수출합니다<1ppb

◎ 전기화학포광 316(L) 스테인리스강

◎ 내부 0.003 마이크로미터 고효율 필터

◎ 이 순화기는 예비 순화탑을 배치하여 귀중한 소모형 흡기탑 이전에 대량의 불순물을 제거하면 귀중한 소모형 흡기제의 사용 수명을 연장할 수 있다

제품 적용

◎ 고순도 단결정 실리콘, 웨이퍼 외연, 대규모 집적 회로, 광전 제품 생산 등 전자 공업 가스 단말기 순화

◎ 반도체 공정 장비: CVD, MOCVD, HVPE, 확산로 등

◎ 대량 기체 순화

시스템 매개변수