제품 소개

상온 촉매형 가스 순화 시스템

대량 가스 순화 전용으로 최소 비용과 고품질 가스 순화 솔루션을 제공합니다.구조가 치밀하고 저원가운행과 신뢰성이 높은 장점을 갖고있어 각종 불순물을 함유한 대종기체를 효과적으로 순화시켜 초순도의 기체요구에 도달할수 있으며 최소의 압강과 탁월한 련속작업능력을 겸비할수 있다.전체 시스템은 지렛대 설계를 채택하여 그 응용이 광범위하여 서로 다른 사이즈 요구의 현장과 각종 분야에서 응용할 수 있다.

제품 성능

◎ 순도 99.99% 이상의 원기와 함께 사용하기 적합

◎ 이 제품은 이중 구조, 작업 세트, 재생성 대체 세트

◎ 가스 순화 후 물, 산소 등 각종 불순물 함량<10ppb

◎ 전기화학포광 316(L) 스테인리스강 ◎ 내장 고효율 필터

◎ 최적의 처리 주기 설계, 흡착제 장전량이 많고 사용 수명이 연장됨

◎ 이 제품은 전체 지렛대 디자인으로 배치가 치밀하고 설치 면적이 작다

제품 적용

◎ 보호 가스 순화: 철강, 석유화학, 기계 산업

◎ 고순도 단결정 실리콘, 웨이퍼 외연, 대규모 집적 회로, 광전 제품 생산 등 전자 공업에 필요한 기체 초급 순화.

◎ 반도체 공정 장비: CVD, MOCVD, HVPE, 확산로 등

◎ 대량 기체 순화

시스템 매개변수