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제품 상세 정보
전자동 원자력 현미경 AFM5500M
AFM5500M은 조작성과 측정 정밀도가 대폭 향상되고 4인치 자동모터대가 장착된 전자동형 원자력 현미경이다.설비는 현수막 교체, 레이저 대중, 테스트 매개변수 설정 등 단계에서 전자동 조작 플랫폼을 제공한다.새로 개발한 고정밀 스캐너와 저소음 3축 감지기로 측정 정밀도가 크게 향상됐다.또한 SEM-AFM 공유 좌표 시료대를 통해 동일한 시야의 상호 관찰·분석을 쉽게 할 수 있다.
- 아이콘 설명
생산회사: 히타치 첨단과학
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특징
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매개변수
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Movie
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데이터 적용
특징
1. 자동화 기능
- 고효율 테스트를 위한 고도의 통합 자동화 기능
- 테스트 중 인위적인 조작 오차 감소
4인치 자동 모터 스탠드
팔걸이 기능 자동 교체
2. 신뢰성
기계적 원인으로 인한 오차를 제거하다.
- 광범위한 수평 스캔
- 파이프 스캐너의 원자력 현미경을 사용하여 스캐너의 호 동작에 의해 생성되는 서피스에 대해 일반적으로 소프트웨어 보정 방식으로 평면 데이터를 얻습니다.그러나 소프트웨어 보정 방식으로는 스캐너의 호 움직임의 영향을 완전히 제거할 수 없으며 그림에서 왜곡 효과가 자주 발생합니다.
AFM5500M은 호 움직임에 영향을 받지 않는 정확한 테스트를 위해 최신 개발된 수평 스캐너를 탑재했다.
Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
- 고정각 측정
- 일반적인 원자력 현미경에 사용되는 스캐너는 수직으로 신축할 때 구부러짐(crosstalk)이 발생한다.이것은 그림이 수평 방향에서 형상 오차가 발생하는 직접적인 원인이다.
AFM5500M에 탑재된 새로운 스캐너는 세로 방향에서 굴곡(crosstalk)이 발생하지 않고 수평 방향에서 왜곡 영향이 없는 정확한 이미지를 얻을 수 있다.
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
- * AFM5100N(오픈 루프 컨트롤) 사용 시
3.융합성
친밀한 융합 기타 검측 분석 방식
SEM-AFM의 공유 좌표 시료대를 통해 시료의 표면 형상, 구조, 성분, 물리적 특성 등을 동일한 시야에서 빠르게 관찰·분석할 수 있다.
SEM-AFM은 동일한 시야에서 인스턴스를 관찰합니다 (샘플: 그래핀/SIO2）
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
위 사진은 AFM5500M이 촬영한 형상상(AFM상)과 전위상(KFM상)이 각각 SEM 이미지와 겹쳐진 응용 데이터다.
- AFM 이미지를 분석하면 SEM 명암비는 그래핀층의 두께를 나타낸다고 판단할 수 있다.
- 그래핀의 층수가 다르면 표면 전위 (공함수) 의 반차가 발생한다.
- SEM 이미지의 명암비가 다르기 때문에 SPM의 고정밀 3D 형태 측정 및 물리적 특성 분석을 통해 그 원인을 찾을 수 있습니다.
앞으로 다른 현미경 및 분석기기와 연계할 계획이다.
매개변수
| 마다타 | 자동정밀모터대 최대 관찰 범위: 100mm(4인치) 전역 모터 이동 범위: XY±50mm, Z≥21mm 최소 스텝 거리: XY 2 µm, Z 0.04 µm |
|---|---|
| 최대 샘플 크기 | 지름: 100mm(4인치), 두께: 20mm 샘플 무게: 2kg |
| 스캔 범위 | 200 µm x 200 µm x 15 µm (XY: 폐쇄 루프 제어 / Z: 센서 모니터링) |
| RMS 소음 수준 * | 0.04nm 이하(고해상도 모드) |
| 재설정 정밀도 * | XY: ≤15nm(3σ, 계량 10μm의 표준 간격) / Z: ≤1nm(3σ, 계량 100nm의 표준 깊이) |
| XY 직선 각도 | ±0.5° |
| BOW* | 2 nm/50 µm 이하 |
| 검사 방법 | 레이저 감지 (저간섭 광학 시스템) |
| 광학 현미경 | 확대 배율: x1~x7 시야: 910µm x 650µm ~ 130µm x 90µm 디스플레이 배율: x465~x3255(27형 모니터) |
| 충격 흡수대 | 데스크탑 액티브 충격 흡수대 500mm(W) x 600mm(D) x 84mm(H), 약 28kg |
| 방음 마스크 | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、약 237kg |
| 크기・무게 | 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、약 90kg |
- * 매개변수는 장치 구성 및 배치 환경과 관련이 있습니다.
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune®II | 현수막 진폭, 접촉력, 스캐닝 속도 및 신호 피드백 자동 조절 |
| 조작 화면 | 조작 내비게이션, 다중 창 디스플레이 기능(테스트/분석), 3D 이미지 중첩 기능, 스캔 범위/측정 이력 표시 기능, 데이터 배치 분석 기능, 프로브 평가 기능 |
| X, Y, Z 스캔 구동 전압 | 0～150 V |
| 타이밍 테스트 (픽셀 점) | 4 화면(최대 2048 x 2048) 2 화면(최대 4096 x 4096) |
| 직사각형 스캔 | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1 |
| 분석 소프트웨어 | 3D 디스플레이 기능, 거친 분석, 단면 분석, 평균 단면 분석 |
| 자동 제어 기능 | 자동 교체 팔걸이, 자동 레이저 대중 |
| 크기・무게 | 340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、약 34kg |
| 전원 공급 장치 | AC100~240V±10% AC |
| 테스트 모드 | 표준: AFM, DFM, PM(상위), FFM 옵션: SIS 형태, SIS 물리적 특성,LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
- * WINDOWS는 미국 및 미국 이외의 국가에서 등록된 미국 Microsoft Corporation의 상표입니다.
- * RealTune은 일본, 미국 및 유럽에서 히타치하이테크놀로지의 등록 상표입니다.
| 적용 가능한 히타치 SEM 모델 | SU8240, SU8230(H36mm형), SU8220(H29mm형) |
|---|---|
| 견본대 크기 | 41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H） |
| 최대 샘플 크기 | Φ20 mm x 7 mm |
| 중간 정밀도 | ±10µm(AFM 대중정밀도) |
Movie
데이터 적용
- SEM-SPM 공유 좌표 방식 동일 시야 관찰 그래핀/SIO2(PDF 형식, 750kBytes)
데이터 적용
스캐너 현미경의 응용 데이터를 소개하다.
설명
스캔식 터널 현미경(STM)과 원자력 현미경(AFM) 등의 원리와 다양한 상태 원리를 설명한다.
과거 기록 및 SPM 개발
우리의 스캐너 현미경과 우리의 설비의 역사와 발전을 묘사한다.(Global site)
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