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제품 상세 정보
- 제품 설명
디클로로 실리콘 헬륨 이온 크로마토그래프기기는 고감도 헬륨 이온화 검측기를 갖추고 있으며, 화아이회사의 센터 절단 기술을 채용하고, 샘플링 밸브는 모두 청소 보호 가스로를 가지고 있다;전체 기계는 다중 기둥 상자로 설계되었으며, 샘플링 압력 자동 교정 시스템을 갖추어 서로 다른 저력의 샘플의 샘플링 양을 보장한다.제품은 선후로 상해시 첨단기술성과전환 A급항목, 상해시 중점신제품, 상해시 성화계획과 2009 과학기기제품 등 칭호를 수여받았다.
| 프로젝트 이름 | 지표 | ||
| 삼염화수소규소(SiHCl)3) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 10 | ||
| (일염소규탄+염화수소) 함량(SiH3Cl+HCl) 함유량', 염화수소계(체적분수)/l0-6 ≤ | 50 | ||
| 질소(N2) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 1 | ||
| (산소+아르곤)(O2+Ar) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 일산화탄소(CO) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 수소(H2) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 10 | ||
| 이산화탄소(CO2) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 총 탄화수소 (THC) 함량, 메탄 (CH)4)계(체적분수)/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 금속원소 및 기타 원소 함량 | (붕소+알루미늄) (B+Al) 함유량 / (µg/kg) ≤ | 0.1 | |
| (인+비소) (P+As) 함량 / (µg/kg) ≤ | 0.3 | ||
| 갈륨(Ga) 함량/(µg/kg)≤ | 0.1 | ||
| 안티몬 (Sb) 함량 / (µg/kg) ≤ | 0.1 | ||
| 인듐(In) 함량/(µg/kg)≤ | 0.1 | ||
| 칼슘 (Ca) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | ||
| 크롬 (Cr) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | ||
| 철 (Fe) 함량 / (µg/kg) ≤ | 5 | ||
| 칼륨(K) 함량/(µg/kg)≤ | 1 | ||
| 나트륨 (Na) 함량 / (µg/kg) ≤ | 0.2 | ||
| 니켈(Ni) 함량/(µg/kg)≤ | 1 | ||
| 몰리브덴 (Mo) 함유량 / (µg/kg) ≤ | 0.1 | ||
| 망간 (Mn) 함량 / (µg/kg) ≤ | 0.2 | ||
| 구리 (Cu) 함량 / (µg/kg) ≤ | 0.2 | ||
| 카드뮴(Cd) 함량/(µg/kg)≤ | 0.5 | ||
| 코발트 (Co) 함량 / (µg/kg) ≤ | 0.5 | ||
| 아연(Zn) 함량/(µg/kg)≤ | 0.1 | ||
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