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제품 상세 정보
- 제품 설명
테트라 클로로 실리콘 분석 헬륨 이온 크로마토그래프전자공업용 기체 중 흔적량 불순물의 검측을 적용하면 소검측 농도는 5ppb에 달한다.기기는 고감도 헬륨 이온화 검측기를 갖추고 있으며, 화아이회사의 센터 절단 기술을 채용하고, 샘플링 밸브는 모두 청소 보호 가스로를 가지고 있다;전체 기계는 다중 기둥 상자로 설계되었으며, 샘플링 압력 자동 교정 시스템을 갖추어 서로 다른 저력의 샘플의 샘플링 양을 보장한다.제품은 선후로 상해시 첨단기술성과전환 A급 프로젝트를 수상하였다.
| 실리콘(SiHCl)3) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 디클로로실리콘(SiH2Cl2) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 메틸 디클로로 실리콘(SiCl2CH4) 함량(체적분수)/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| 금속원소 및 기타 원소 함량 | (붕소+알루미늄) (B+Al) 함유량 / (µg/kg) ≤ | —— | 0.1 |
| (인+비소) (P+As) 함량 / (µg/kg) ≤ | —— | 0.3 | |
| 갈륨(Ga) 함량/(µg/kg)≤ | —— | 0.5 | |
| 안티몬 (Sb) 함량 / (µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
| 인듐(In) 함량/(µg/kg)≤ | —— | 0.5 | |
| 칼슘 (Ca) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| 크롬 (Cr) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| 철 (Fe) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| 칼륨(K) 함량/(µg/kg)≤ | 1 | 0.5 | |
| 나트륨 (Na) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| 니켈(Ni) 함량/(µg/kg)≤ | 1 | 0.5 | |
| 몰리브덴 (Mo) 함유량 / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| 망간 (Mn) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| 구리 (Cu) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| 카드뮴(Cd) 함량/(µg/kg)≤ | 1 | 0.5 | |
| 코발트 (Co) 함량 / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| 아연(Zn) 함량/(µg/kg)≤ | 1 | 0.5 | |
| 바나듐(V) 함량/(µg/kg)≤ | 1 | 0.5 | |
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