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고순도 가스 분석 시스템
GC-9560-HG 고순도 가스 분석 시스템은 고순도 가스 및 전자 산업용 가스의 흔적 불순물 검출에 적용되며, Z 소검출 농도는 5ppb에 달한다.기기는 고감도 헬륨 이온화 검측기를 갖추고 있으며, 화애회사 *의 중심 절단 기술을 채용하고, 샘플링 밸브는 모두 청소
제품 상세 정보
  • 제품 설명

GC-9560-HG고순도 가스 분석 시스템고순도 수소, 산소, 아르곤, 질소, 헬륨, 네온, 크립톤, 제논, 이산화탄소 등 기체 중 흔적 불순물 검측에 적용되며, 기기는 고감도의 헬륨 이온화 (PDHID) 검측기를 장착하고, 중심 절단 및 반취 기술을 채택하며, 청소 보호 가스로를 갖춘 샘플링 전환 밸브와 수입 헬륨 가스 순화기를 배치하고, 무사체적 샘플링 또는 온라인 샘플링 방식을 통해 상기 H를 한 번에 완성한다.2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2등의 흔한 불순물이나 C1-C4등 탄화수소의 검측, 검측 제한은 ppb급, 중복성 RSD ≤ 1% 에 달한다.

화애크로마토그래프가 주요기초임무를 맡은 국가표준 GB/T 28726-2012"기체분석 헬륨이온화기상크로마토그래피"는 이미 2013년 02월 01일부터 정식으로 공포, 실시되였다.

1. 적용 기준:

GB/T3634.2-2011 "순수 수소, 고순도 수소 및 초순도 수소"GB/T 14599-2008 "순수 산소, 고순도 산소 및 초순도 산소"
GB/T 8979-2008"순수질소, 고순질소 및 초순질소"GB/T 4842-2006"아르곤"
GB/T 4844-2011"순헬륨, 고순헬륨과 초순헬륨"GB/T 17873-1999"순네온"
GB/T 5829-2006 크립톤 GB/T 5828-2006 제논
HG/T 3633-1999"순수 메탄"GB 10621-2006"식품첨가제 액체 이산화탄소"
GB/T 23938-2009"고순도 이산화탄소"GB/T 28125.1-2011"공분 공정 중 위험 물질의 측정"

2. 기술매개변수:

1. 검사 제한(ppb):

일반 불순물

잡화 종류

H2

O2Ar

N2

CH4

CO

CO2

검사측정제한

5

10

10

5

25

5

탄화수소

불순물 종류

C2H4

C2H6

C3H6

C3H8

C4H8

C4H10

iC4H10

검사측정제한

20

20

20

20

20

20

20

2. 온도통제지표:

  • 기둥상자: 실온상 8℃-400℃ 정밀도 ±0.1℃
  • 샘플링기: 실온상 8℃-400℃ 정밀도 ±0.1℃
  • 검출기: 실온상 8℃-400℃ 정밀도 ±0.1℃
  • 온도 조절 수량: 8번
  • 프로그램 승온: 8 단계
  • 온도 상승 속도: 1 ℃ ~ 40 ℃
  • 냉방 속도: 7분 이내(350℃~50℃)

3. 헬륨 이온화 검출기(PDD):

  • 방전 모드: 펄스 방전
  • 베이스라인 노이즈: ≤0.1mv
  • 베이스라인 이동: ≤ 0.5mv/30min
  • 검사 한도: ≤ 1.0 × 10-10g/ml

4. 배기가스 순화기:

  • 순화 가능 가스: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  • zui 큰 작동 압력: 1000Psi
  • 가스 제거: H2、O2, N2, CO, CO2, CH4, H2O, NO, NH3, CF4 등
  • 잔류 농도: ≤10ppb

5. 워크스테이션 성능:

  • 통신 커넥터: RS232/USB 커넥터
  • 고정밀도: 24비트 고정밀 A/D
  • 해상도: ±1uv
  • 입력 레벨 범위: -5mv ~ +1v
  • 샘플링 빈도: zui 높이 20회/초
  • 동적 범위: 106
  • 포인트 감도: 1μv•sec
  • 선형도: <±0.1%.
  • 재현성: 0.06%

6. 기타 매개 변수: 크기, 무게, 전원:

  • 크기: 가로 655mm x 높이 500mm x 세로 480mm
  • 무게:~48kg
  • 전원 공급 장치: 220V ± 22V, 50Hz, 전력 ≥ 2kW

3. 시스템 구성:

(1) GC-9560-HG 고순도 가스 분석 시스템 (2) 헬륨 이온화 검출기 (PDHID)
(3) 중심 가공 시스템 (4) 다중 포스트박스 시스템
(5) 헬륨 가스 순화기(6) 표준 가스
(7) 크로마토그래피 기둥(9) 산소 흡착 및 환원 시스템
(10) 배기가스 전용 감압 밸브 (11) 무사체적 전용 샘플링 밸브
(12) GC-9560V4.0 리모컨 크로마토그래프 워크스테이션

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