반도체 산업과 같은 많은 초순수 가스 응용에서 가스에 남아 있는 습기는 프로세스 처리의 정상적인 작동에 매우 중요합니다.그동안 습기에 대한 지속적인 추적 측정은 어려운 점이었으며 복잡한 습도 분석기나 비싼 분석 기술이 필요했습니다.그러나 미셀 계기는 현재 온라인으로 노점 값을 측정하기 위해 간단하고 경제적이며 상당히 효과적인 방안을 시장에 내놓았는데, 하한선은 놀라운 -120 ° C (1ppb 미만에 해당) 로 낮다V)。 퓨라 컨버터는 미셀 계량기가 수년간 임피던스 노점 센서 생산 및 검사에 대한 전문 경험을 바탕으로 표준 산업화된 재료와 제조 프로세스를 결합하여 만든 최초의 반도체 제조 산업과 초순수 가스 응용에 적용되는 저가형 컨버터이다. 하이라이트 측정 하한선 - 120°C 이슬점(1ppb)V) 측정이 안정적이고 반복성이 좋다 고도로 통합된 샘플링 장치 아날로그 및 디지털 출력 간편한 설치 VCR 프로세스 인터페이스 컴팩트한 디자인 디스플레이 / 경보 장치 옵션
기술 지표
센서 센서 유형 미셀 세라믹 습도 센서 측정 거리 - 120 ~ -40°C 이슬점(-100 ~ -40°C까지 체크) 정밀도 ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C - 101 ~ -120°C(추정치) 해상도 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C 스트레스 최소 10-9 torr;최대 24MPa 가스 유량 1 ~ 5 Nl / 분 전기 전원 보통 24V DC, 최소 10V ~ 최대 28V, 최대 전류 25mA 출력 4-20 mA 출력, 해당 범위는 전용 소프트웨어, 1 ~ 80 ° C에서 조정 가능 (표준 제공) 최대 부하 = 100 오메가 + 50 오메가 x (V 전원 공급 장치 -8) 출력 오류 상태 표준 출력 오류 정보는 다음과 같습니다. 23 mA = 센서 오류;20mA = 상한선 초과;4mA = 초하한선 기계적 성능 센서 케이스 스테인리스 스틸, 0.1-0.2 Ra µm 도금 내부 광택 가스 회로 연결 포트 프리미엄 또는 OEM: ¼'m VCR 커넥터 Pura Sensor 타입: ½'m VCR 커넥터 설치 구성 Premium 또는 OEM형: 120.00mm 길이, 가스 포트의 끝 밀봉.파이프라인 여유 공간 필요 없음 받침대에는 M4 x 0.7, 7mm 깊이의 마운트 구멍이 2개 있으며, 비스듬한 맞은편 가로세로 간격은 모두 20 x 20mm이다 Pura Sensor 유형: 사용자용 ½'VCR 포트 치수 Premium 또는 OEM: 120 x 35 x 150mm Pura 센서型:132 x 35mm 무게 Premium 또는 OEM: 450g Pura 센서型:180g 포장 Pura: 이중 포장, 불활성 가스 충전 밀봉 Pura OEM 또는 Pura Sensor 모델: 단일 레이어 포장 모든 선택 부품: 개별 포장 배송 센서 타입은 센서 칩에 자체 보호 커버를 장착하여 운송 및 조작을 사용한다