산업용 플라즈마 포토레지스트 청정기 설비 고온 플라즈마 소각 기술은 고주파(30KHz) 고압(10만볼트) 고출력 전원이 특정 조건에서 폴리머 방전된다.산업폐기는 반응기에서 상온에서 3천도 고온으로 급격히 상승하면서 고온·고전세의 이중작용으로 유기오염성분(VOCs)이 순식간에 이온화되고 분해된다.

고온의 플라즈마 소각 처리를 거쳐 산업 폐기 중 유기물 (VOCs) 은 탄소, 이산화탄소, 수증기 등 단질 물질로 분해된다.

고온의 플라즈마 소각 기술은 고농도, 성분이 복잡하고 인화성, 폭발성, 고체, 기름 상태물을 함유한 공업 폐기를 처리할 수 있다.

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