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무산소 오븐 포토레지스트 웨이퍼 오븐
1. 개요: 무산소 오븐 웨이퍼 포장 무산소 상자, 무산화 오븐, 작업 시 작업실 내에 타성 가스 CO2, N2가 가득 차 있어 재료가 구울 때 산화되는 것을 방지한다
제품 상세 정보

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

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1. 개요:
무산소오븐 웨이퍼는 무산소상자, 무산화오븐을 봉하여 작업할 때 작업실내에 타성기체 CO2, N2가 가득 차있어 재료가 구울 때 산화되는것을 방지한다.산업에서 무산화 건조기의 용도: IC 포장,LCD,트랜지스터, 센서, 다이오드, 쿼츠 트랜지스터 발진기, 하이브리드 집적회로기판...


2. 제품 기술 매개 변수
1. 이름 및 모델: 듀플렉스 캐비티 무산소 오븐 AO-2DSL FCNET(ONET-240 네트워크 온라인 기능 지원)
2. 주요 기술 지표:
2.1 작동 크기: W1000*D500*H610*2 mm
2.2 전원: 380V 350HZ 18KVA
2.3 산소 함유량 제어는 <= 100PPM이어야 한다.
2.4 온도 범위: RT(실온)+60~+300℃;
2.5 온도 균일도: ±1.5%;
2.6 온도 상승 속도: 실온~250 ℃, 45 분 (빈 상자 테스트).(고객 공정 고온도 300℃)
2.7 바람의 차가운 온도: 100분 동안 온도를 낮추면 250 ℃ 에서 70 ℃ 에 이를 수 있다


3. 상자 구조:
3.1 오븐은 상자 부분, 전기 제어 캐비닛 부분, 전기 가열 및 풍도 시스템 부분으로 조립되어 구조가 합리적이고 외관이 아름답고 대범하다;
3.2 전주아르곤 용접, 고온에 견디는 실리콘 조임, SUS304 # 스테인리스강 전열 발생기, 방기대 자체에 미세먼지가 발생한다;
3.3 상자체 재료: 외부 상자는 SS41# 중탄소강판을 인산피막염으로 처리한 후 두 겹의 방광면 도장 페인트를 사용하여 미세먼지를 방지할 수 있다;
3.4 내담 재료: 수입 SUS304 # 일제 800번 2mm 두께의 거울면 스테인리스 강판을 사용하고 알칼리성 소다수로 청결하여 기름때를 제거하고 구울 때 PARTICLE가 발생하지 않도록 한다.
3.5 중통 재료: 수입 SUS304 # 일제 800번 2mm 두께의 거울면 스테인리스 강판을 사용하고 알칼리성 소다수를 통해 청결, 기름때 제거 및 아르곤 용접 밀봉 가공 (오염 방지).
3.6 보온재: 규산알루미늄면;
3.7 메자닌 냉각: 메자닌 바람 냉각


4, 온도 제어 시스템
4.1 컨트롤러는 2합일 PLC 터치스크린으로 두 개의 캐비티가 독립적으로 작동하고 수시로 전환되도록 제어한다.
4.2 온도 측정: 특수 제작된 백금 저항을 사용한다.
4.3 질소 제어 시스템: 이중 유량계가 있는 스마트 제어 질소 시스템.
5. 완벽한 안전 보호 조치: 누전 차단기 // 초온 보호 // 미상 보호 // 모터 과부하 전류 보호 // 플랫폼 이상 버저 경고

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

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