UV 광분해 플라즈마 탈취 정화설비는 방전 과정에서 전자온도는 높지만 중입자 온도가 낮아 전체 체계가 저온 상태를 나타내기 때문에 저온 플라즈마라고 한다.유리 산소가 가지고 있는 양과 음의 전자가 불균형하기 때문에 산소 분자와 결합하여 오존을 발생시켜야 한다.UV 빔은 악취 가스 중 분자 결합, 파괴된 핵산(DNA)을 분해하고, 다시 오존을 통해 산화 반응을 일으켜 배기가스가 이산화탄소와 물을 생성하도록 해 탈취 및 사멸의 목적을 달성한다.

고오존 UV 자외선 빔을 이용하여 공기 중의 산소 분자를 분해하여 유리 산소, 즉 활성 산소를 생성하는데, 유리 산소가 가지고 있는 양과 음의 전자가 불균형하기 때문에 산소 분자와 결합하여 오존을 생성해야 한다.UV 빔은 악취 가스 중 분자 결합, 파괴된 핵산(DNA)을 분해하고, 다시 오존을 통해 산화 반응을 일으켜 배기가스가 이산화탄소와 물을 생성하도록 해 탈취 및 사멸의 목적을 달성한다.

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