심천워비과학기술유한공사 전문연구개발설계제조 고순도공정기체시스템 전자특기공정배기가스처리설비 local scrubber

WFS-100F 흡착식 local scrubber 배기가스 처리 설비 처리 가능한 가스 종류는 반도체, 액정 및 태양열 등 업계에서 식각 제조 공정과 화학 가스 상퇴적 제조 공정에 사용되는 특기를 포함하며, 주로SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O기다려.