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>제품>YAMATO 포토레지스트 경화로 DTPN-612GCT01
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YAMATO 포토레지스트 경화로 DTPN-612GCT01
성능(JTM 규격) 사용 온도 범위: 실온 +50~500℃ 온도 조절 정밀도: ±0.5℃(at450℃ 무부하 상태) 온도 분포 정밀도: ±5℃(at450℃ 무부하 상태) JTM 표준 규정점은 유효 사이즈에 따라 1/6곳
제품 상세 정보
성능(JTM 사양)
사용 온도 범위: 실온 +50~500 ℃
온도 조절 정밀도: ±0.5 ℃ (at45 0 ℃ 무부하 상태)
온도 분포 정밀도: ± 5 ℃ (at45 0 ℃ 무부하 상태)
JTM 표준 규정점은 유효 치수의 1/6에 따라 슬롯 내 중심점을 포함하여 총 9점을 측정합니다.
실행: 프로그램 실행 (온도 상승, 온도 감소, 타이밍)
타이밍 에너지: 1min~99h59min, 100~999h,
온도 상승 속도: ≤ 40min, (150~450 ℃ ≥ 7.5 ℃ /min, 전 과정 평균)
청결도: 온도 일정시 100레벨
산소 농도: 20ppm 이하
진공도: 100Pa 이하
진공 도착 시간: 약 15min
작동 상태 표시: 터치스크린에 작동 과정(트루 에어-N2 치환 중-산소 농도 측정 중-가열 중, N2 유지 중-고정 중-냉각 중-트루 에어-공기 진입 중-종료)


구성
외장재질: 냉자채강판, 표면분사
내장 압력받이 재질: SUS 316 스테인리스 강판,
단열재: 규산알루미늄 면판
히터: 갑옷 스테인리스 가열관 380V4.0KwX3=12Kw
가열판 220V300 w X 14 = 4.2Kw
조립식 송풍기: 원심 풍엽230 X 130-1개, 풍량 L=1800m3/h
주파수 변조 모터 380V(1450/min 회전)
N2 노즐: N2 노즐
수냉기: SUS 튜브 히터
여과망: 내고온 필터망 HEPA(여과율 0.3μm 입자 99.9995% 이상)
문: 단문 정면, 문 개구부 W660 × H660
폼 팩터: 본체 W1150 × D1215 × H1697(설정 시, 돌기물 제외)
내부 크기: W600 × D600 × H600mm
용적: 216L
천막 수단수: 17단/30mm(고도 방향 균분)
널빤지 수량: 2개
N2 외부 공기 흡입 커넥터: 빨리 커넥터10mm 하나.
냉각수 이음매: 빨리 이음매로 바꾸세요10mm와16mm 각각 하나입니다.
테스트 구멍: 산소 농도 및 청정도 측정을 위한 왼쪽 KF16 온도 분포 정밀 테스트 포트 1개, 내부 스레드 1/4 커넥터 2개.
솔레노이드 밸브: 진공, N2, 물의 연결 순서를 제어합니다.
무게: 320g
전원: AC380V 35W 50Hz 30A 이하

계장
온도 조절기: LCD 터치 스크린에 PLC, PID 제어, LCD 디스플레이, 터치 키 설정.
온도 센서: K형 열전지 4개
압력 제어기: 디지털
압력 변송기: 상대값 압력 변송기
압차계: 내부 슬롯과 에어컨 사이의 압차를 측정하여 이를 근거로 필터의 청결 여부를 판정하는 데 사용한다.
인버터: 송풍기 회전 속도 및 조절 (터치스크린에서 송풍기 주파수 설정)
유리 로터 유량계: a.300L/min은 빠르고 슬롯 내의 산소 농도가 10ppm 이하임을 보장하는 데 사용됩니다.
b.15-25L/min은 슬롯 내의 산소 농도를 10ppm 이하로 유지하는 데 사용되며, 별도의 예열기를 추가하여 슬롯 내 N2 온도에 진입하여 슬롯 내의 온도를 설정하고 슬롯 내의 균일도를 방해하지 않도록 보장한다.
산소농도분석기: 홈내 산소농도를 측정하고 20ppm 이하에서 가열,
진공 펌프: 애발과 이중 유유 회전식 진공 펌프
온도 상승 방지기: 온도 이상 상승 방지,
솔레노이드 밸브: 진공, N2 및 냉각수의 개폐를 제어합니다.
강제 잠금: 2곳

보호 장치
누전 보호 스위치: 본체 380V 누전 보호 스위치
누전, 단락, 과전류 보호
정격 감도 전류 30mA
과열 방지 회로: 온도 이상 상승 시, 가열기 전원 끊기, 모터 풍엽 동작, 경보
송풍기 모터: 모터 과부하 시 히터 전원 차단 보호 회로 및 경보
N2 예외: 질소 유량 부족, 가열 정지, 경보
냉각수 이상: 유량 부족, 경보
도어 잠금: 작동 시 도어 자동 잠금
문 스위치: 문이 잘 닫히지 않아 기계가 작동하지 않습니다. 시동 버튼을 누르면 경보가 표시됩니다.
이상 표시: 상기 이상이 발생했을 때, 터치스크린의 경보 알림 상자 이상에 고장 내용이 표시되고, 버저가 울린다.


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