ZEISS XENOS1) 검수 테스트 시 프로브 길이 94mm, 프로브 지름 12mm2) 측정 길이 L 단위 mm3) 원도 측정 중 스캔 속도 5mm/s, 필터 50 UPR4) 측정 위치가 교정 위치 근처에 있어 측정 헤드 특성 5를 기록하여 지정된 정밀도 1) 안전