10월 28일,"국민경제와 사회발전 제15차 5개년계획을 제정할데 관한 중공중앙의 건의"가 정식으로 발표되였다."건의" 는"높은 수준의 과학기술자립자강을 가속화하자"는 부분에서 신형의 거국체제를 보완하고 초상규조치를 취하며 전반 사슬은 집적회로, 고급계기를 포함한 중점분야의 관건핵심기술난제해결에서 결정적인 돌파를 이룩하도록 추진해야 한다고 명확히 제기하였다.이 배치는 집적회로산업의 전략적고도를 재차 확립하였을뿐만아니라 더우기는 국가산업사슬의 안전을 보장하는 첨단기구의 관건적인 역할을 강조하였다.

1. 정책의 호소에 호응하여 반도체 국산 대체를 전망적으로 배치한다

최근 몇 년 동안 국가는 잇달아 일련의 정책을 출범하여 집적회로 전체 산업 사슬의 혁신 발전을 전폭적으로 지지하고 자주적 통제 능력을 향상시켰다.국내 기체센서와 첨단과학기기의 상장기업으로서 사방광전주식유한공사 (이하'사방광전') 및 산하의 완전 자회사 사방광전 (우한) 기기유한공사 (이하'사방기기') 는 국가 정책의 호소에 적극 호응하여 기체감지 분야의 깊은 기술 축적과 예민한 산업 통찰에 의탁하여 반도체 정밀 제조 분야를 전망적으로 배치하고 이미 완전한 기술 연구개발과 첨단 센서, 산화 연구 개발 능력 연구 개발 및 연구 개발 핵심 IR 등 ND의 핵심 원리를 구축하였다.

반도체 제조 중 기체 환경에 대한 극도로 가혹한 모니터링 수요에 비추어 4자 광전은 지속적으로 기술 난관 돌파, 국외 독점을 타파하고 적외선 기체 센서와 미량 산소 분석기 등 여러 혁신 제품을 자주적으로 연구 개발하여 업계 핵심 문제점을 정확하게 해결하여 중국 반도체 산업의 고품질 발전에 견고하고 신뢰할 수 있는 국산화 기술 지탱을 제공한다.

2. 핵심기술에 초점을 맞추어 혁신제품으로 업종의 문제점을 직격한다

01. 적외선 가스 센서: 청결 종점을 정확하게 판정하고 녹색 제조를 추진한다

박막 퇴적 (CVD/ALD) 공정에서 챔버 청결은 공정의 안정성을 보장하는 핵심 단계입니다.전통적인 경험시간에 기초한 통제방법은 청결이 철저하지 못함을 피하기 위해 흔히 과도한 청결책략을 취하여 NF 등 비싼 공예기체의 거대한 랑비를 초래하였다.

쿼드 옵티컬이 출시한 Gasboard-2060 적외선 가스 센서는 이 문제점을 직격한다.이 제품은 청결 과정 중 SiF₄와 같은 부산물의 농도 변화를 실시간, 정확하게 모니터링함으로써 청결 종점을 정확하고 지능적으로 판정할 수 있다.이는 고객이 정확한 공정통제를 실현하는 동시에 운영원가를 효과적으로 낮추고 록색제조리념을 실천하도록 도와준다.

02. 미량 산소 분석기: 0.1ppm 레벨 정밀도, 공정 환경 청정 유지

반도체 제조에서 산소 오염은 칩의 양률에 영향을 주는"스텔스 킬러"이다.설사 미량의 산소 (ppm급으로 낮음) 라 하더라도 불필요한 산화반응을 유발하여 집적회로와 규소조각의 결함을 초래하고 박막구조의 완전성을 파괴하며 제품의 균일성과 신뢰성에 엄중한 영향을 미치기에 충분하다.

사방광전이 자체 개발한 Gasboard-3050 시리즈 저농도 산소 분석기는 최저 해상도가 0.1ppm에 달하고 측정 범위는 0~10ppm에서 100% O₂를 커버하며 현장에서 장기간 검증된 지르코니아 센서를 탑재하여 우수한 재현성과 고속 응답 특성을 갖추고 있으며 공정 가스 및 설비 챔버의 산소 함량을 정확하게 모니터링할 수 있어 고객이 산소 오염을 원천적으로 통제하고 제품의 양률을 보장할 수 있도록 효과적으로 돕는다.

3. 시장의 신뢰를 얻고, 국산 역량은 헤드 고객의 인정을 받는다

의거우수의 제품 성능과 안정적인 품질 표현, 사방광전의 반도체 업계 가스 모니터링 방안은 이미 국내 여러 주류 반도체 제조 기업과 설비 제조업체의 공급 사슬에 성공적으로 진입하였으며, 헤드 고객의 지속적인 구매와 양호한 평가를 받았다.고객의 피드백은 사방광전의 제품이 안정성 및 사용수명 등 관건적인 지표에서 이미 동종 수입제품 수준에 도달하여 진정으로 국산화 대체를 실현했다는 것을 실증하였다.

이와 동시에 사방광전은 세미콘차이나, CSEAC 반도체설비년례회의 등 세계 최고의 반도체업종성회에 적극 참여하여 전시회플랫폼을 통해 산업계와 깊이있게 교류하고 브랜드영향력을 지속적으로 확대하여 첨단과학기기분야에서의 중국기업의 혁신실력과 진취정신을 과시하였다.

"15.5" 의 새로운 로정을 전망하면 고급계기와 집적회로산업의 운명이 긴밀히 얽혀있다.사방광전은 계속 기술자립의 초심을 가지고 국가전략과 산업수요를 긴밀히 둘러싸고 첨단기체분석분야의"목막힘"난제를 끊임없이 공략하여 더욱 많은 혁신적이고 믿음직한 감지해결방안으로 중국반도체산업의 질제고와 효익증대와 자주적통제가능성을 부여할것이다.